化学硅晶显影设备

  • 类　　别：53
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  • 商标时间：0001年01月01日
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化学硅晶显影设备
全自动显影机型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB。德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工;1.概述:本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影,该产品技术先进、一致性强,适用于规模生产。 2.整台设备材料均为进口。 3.本设备为双排槽构成,每排7槽,各设一套机械手,两排可同时完成相应的工序。 4.本设备除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完成。 5.每槽装片能力:50片/批(2花篮,25片/花篮)。 6.工作区洁净度:100级。 7.槽间工艺转换时间:Tm ax≤3.5S有需求此方面设备的朋友,欢迎来电咨询:
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